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 BEOL TDDB reliability modeling and lifetime prediction using critical energy to breakdown 基于临界击穿能量的BEOL TDDB可靠性建模和寿命预测
相关领域
随时间变化的栅氧化层击穿
材料科学
电容器
介电强度
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击穿电压
泄漏（经济）
绝缘体（电）
电气故障
光电子学
电气工程
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工程类
物理
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经济
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期刊：2022 IEEE International Reliability Physics Symposium (IRPS) 作者：Pin-Shiang Chen; Shou-Chung Lee; A. S. Oates; C. W. Liu 出版日期：2018-03-01 |
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