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![]() 用于EUV的分子有机金属抗蚀剂(更多):作为金属中心(Bi、Sb、Te和Sn)函数的反应性
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期刊: 作者:Jacob Sitterly; Michael Murphy; Steven Grzeskowiak; Gregory Denbeaux; Robert L. Brainard 出版日期:2018-03-27 |
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