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 Metrological testing of MEMS-based acoustical sensor 基于MEMS的声学传感器的计量测试
相关领域
计量学
微电子机械系统
声学
材料科学
工程类
计算机科学
光电子学
光学
物理
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期刊：AIP Conference Proceedings 作者：Ninuk Ragil Prasasti; Syifa Az Zahra; Chairunnisa Kumala Giffariany; Vera Firmansyah; Fajar Budi Utomo; et al 出版日期：2023-12-12 |
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