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  Robust Pressure Sensor in SOI Technology with Butterfly Wiring for Airfoil Integration 相关领域
材料科学
风洞
翼型
微电子机械系统
压力传感器
绝缘体上的硅
稳健性（进化）
光电子学
硅
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期刊：Sensors 作者：Jan Niklas Haus; Martin Schwerter; Michael Schneider; Marcel Gäding; Monika Leester-Schädel; et al 出版日期：2021-09-13 |
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