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标题
Decoupling of two-axis electrostatically-actuated 3D MEMS mirror
相关领域
解耦（概率） 可扩展性 计算机科学 微电子机械系统 变形镜 光开关 带宽（计算） 执行机构 垂直的 旋转（数学） 电子工程 物理 光电子学 工程类 计算机网络 控制工程 人工智能 数据库 数学 几何学
网址
http://dx.doi.org/10.1109/Informatics.2015.7377834
DOI
10.1109/Informatics.2015.7377834 doi
求助人
chouchou 在 2025-11-30 15:21:41 发布自陕西，悬赏 10 积分
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