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标题
Decoupling of two-axis electrostatically-actuated 3D MEMS mirror
相关领域
解耦(概率) 可扩展性 计算机科学 微电子机械系统 变形镜 光开关 带宽(计算) 执行机构 垂直的 旋转(数学) 电子工程 物理 光电子学 工程类 计算机网络 控制工程 人工智能 数据库 数学 几何学
网址
DOI
10.1109/Informatics.2015.7377834 doi
求助人
chouchou 在 2025-11-30 15:21:41 发布自陕西,悬赏 10 积分
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