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 The effects of the bottom anti-reflective coating with different baked temperatures and thicknesses on nanoscale patterns 不同烘烤温度和厚度的底部减反射涂层对纳米级图案的影响
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期刊：Applied Surface Science 作者：Jie Zheng; Ling Li; Weidong Chen 出版日期：2015-09-15 |
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