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 Three-Color” Chemical Selectivity between Oxide, Nitride, and Silicon: Area-Selective Deposition of Metal Oxide and Polymer on SiN and Si-H versus SiO2 氧化物、氮化物和硅之间的“三色”化学选择性：金属氧化物和聚合物在SiN和Si-H与SiO2上的区域选择性沉积
相关领域
氧化物
材料科学
选择性
金属
氮化物
氧化硅
氮化硅
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聚合物
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化学工程
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