Plasma etching resistance and mechanical properties of polymorph Gd2O3-MgO nanocomposite with Zr phase stabilizer incorporation

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标题	Plasma etching resistance and mechanical properties of polymorph Gd2O3-MgO nanocomposite with Zr phase stabilizer incorporation 掺Zr相稳定剂的多晶型Gd2O3-MgO纳米复合材料的抗等离子体刻蚀性能和力学性能相关领域纳米复合材料材料科学稳定器（航空）相（物质）蚀刻（微加工）化学工程复合材料化学有机化学机械工程图层（电子）工程类
网址	https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2024.160890
DOI	10.1016/j.apsusc.2024.160890 doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：Su Been Ham; Y.T. Shin; Seonghyun Kim; Ha‐Neul Kim; Mi‐Ju Kim; et al 出版日期：2024-08-03
求助人	111 在 2024-12-07 18:15:22 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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