The surface chemistry of the atomic layer deposition of metal thin films

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标题	The surface chemistry of the atomic layer deposition of metal thin films 金属薄膜原子层沉积的表面化学相关领域原子层沉积吸附沉积（地质）纳米技术金属同种类的热分解材料科学薄膜化学化学工程无机化学有机化学物理热力学古生物学沉积物工程类生物
网址	https://doi.org/10.1088/1361-6528/ad54cb AI链接 nih.govdoi.org
DOI	10.1088/1361-6528/ad54cb doi
其它	期刊：Nanotechnology 作者：Francisco Zaera 出版日期：2024-06-18
求助人	lulu 在 2025-05-15 11:45:04 发布自广东，悬赏 10 积分
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