Oxidation rate and surface-potential variations of silicon during plasma oxidation

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标题	Oxidation rate and surface-potential variations of silicon during plasma oxidation
网址	http://link.aps.org/article/10.1103/PhysRevB.53.3993
DOI	10.1103/physrevb.53.3993 doi
其它	期刊：Physical review. B, Condensed matter 作者：M. Kitajima; I. Kamioka; Kazutaka G. Nakamura; Shunichi Hishita 出版日期：1996-02-15
求助人	DWJ 在 2026-10-09 21:08:05 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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