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标题
Intrinsic stress generation and relaxation of plasma-enhanced chemical vapor deposited oxide during deposition and subsequent thermal cycling
相关领域
温度循环 材料科学 应力松弛 化学气相沉积 退火（玻璃） 氧化物 制作 压力（语言学） 微电子机械系统 蠕动 复合材料 纳米技术 热的 冶金 热力学 病理 哲学 物理 替代医学 医学 语言学
网址
https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S004060900...
DOI
10.1016/s0040-6090(03)00462-0 doi
其它 期刊：Thin Solid Films
作者：Kuo-Shen Chen; Xin Zhang; Shih-Yuan Lin
出版日期：2003-05-13
求助人
kiki 在 2026-10-19 09:47:38 发布自江苏，悬赏 10 积分
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