Cascade-Actuation Uncoupled-Motion XYZ-Microstage with Monolithic Integration of In-Plane Comb-Drive XY-Microstage and Out-of-Plane Al/SiO2 Bimorph Thermoelectric Actuators - 科研通

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标题	Cascade-Actuation Uncoupled-Motion XYZ-Microstage with Monolithic Integration of In-Plane Comb-Drive XY-Microstage and Out-of-Plane Al/SiO2 Bimorph Thermoelectric Actuators 相关领域双晶片级联执行机构平面（几何）材料科学梳状致动器热电效应运动（物理）物理光电子学电气工程工程类经典力学制作几何学热力学病理医学数学化学工程替代医学
网址	http://xplorestaging.ieee.org/ielx8/11108179/11109079/111112...
DOI	10.1109/transducers61432.2025.11111270 doi
其它	期刊：2025 23rd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers) 作者：Huanyu Dai; Zengyi Wang; Penghong Shi; Junyang Ding; Bing Li; Gaopeng Xue 出版日期：2025-08-20
求助人	wwwww 在 2025-11-23 19:28:05 发布自陕西，悬赏 10 积分
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