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 T-DYN Monte Carlo simulations applied to ion assisted thin film processes T-DYN蒙特卡罗模拟应用于离子辅助薄膜工艺
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期刊：Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B Beam Interactions with Materials and Atoms 作者：J.P. Biersack; S. Berg; C. Nender 出版日期：1991-07-01 |
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