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标题
Effect of Ruthenium Targets on the Growth and Electrical Properties of Sputtering Ruthenium Films
网址
https://technology.matthey.com/content/journals/10.1595/2056...
DOI
10.1595/205651323x16859589078188 doi
其它 期刊：Johnson Matthey Technology Review
作者：Yue Shen; Yanting Xu; Jun Gan; Renyao Zhang; Ming Wen
出版日期：2023-06-06
求助人
下雨节 在 2026-09-18 10:17:55 发布自云南，悬赏 10 积分
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