Enhancing the structure and piezoelectric properties of AlN/Mo multilayers via insertion of an AlN seed layer

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标题	Enhancing the structure and piezoelectric properties of AlN/Mo multilayers via insertion of an AlN seed layer
网址	https://doi.org/10.1063/5.0325127
DOI	10.1063/5.0325127 doi
其它	期刊：Journal of Applied Physics 作者：Hengyi Yin; Xuecui Zou; Yihui Wu; Tongxin Lu; Zilong Xing; et al 出版日期：2026-03-19
求助人	科研在 2026-08-01 16:14:13 发布自山东，悬赏 10 积分
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