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 The effect of annealing process and seed layer control on the crystallization characteristics and optoelectronic properties of β-Ga2O3 films fabricated by ALD |
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期刊：Journal of Crystal Growth 作者：Ziyu Yang; Zihua Ma; Jianghai He; Chufeng Hou; Qi Liu; et al 出版日期：2025-11-22 |
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