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Wide range investigation of duty cycle and frequency effects on bipolar magnetron sputtering of chromium nitride 相关领域
材料科学
溅射
高功率脉冲磁控溅射
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溅射沉积
薄膜
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氮化铬
光电子学
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期刊:Surface and Coatings Technology 作者:Emile Haye; Julien L. Colaux; Pavel Moskovkin; Jean-Jacques Pireaux; Stéphane Lucas 出版日期:2018-09-01 |
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