The effects of decomposition of CpZr(NMe2)3 on atomic layer deposition for high-k ZrO2 thin films

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标题	The effects of decomposition of CpZr(NMe2)3 on atomic layer deposition for high-k ZrO2 thin films
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.mtcomm.2022.104008
DOI	10.1016/j.mtcomm.2022.104008 doi
其它	期刊：Materials Today Communications 作者：Eunmi Choi; Hayeong Kim; SeonJeong Maeng; Jaebaek Lee; Dae-Hwan Kim; et al 出版日期：2022-08-01
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