Effect of addition of amino acids with hydrophilic side chains to low-concentration H3PO4 for improvement of Si3N4 etching kinetics and oxide regrowth phenomena on multi-layered Si3N4/SiO2 structures

已完结

文献求助详情

标题	Effect of addition of amino acids with hydrophilic side chains to low-concentration H3PO4 for improvement of Si3N4 etching kinetics and oxide regrowth phenomena on multi-layered Si3N4/SiO2 structures
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.apsusc.2023.158118
DOI	10.1016/j.apsusc.2023.158118 doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：Taegun Park; Taehyeon Kim; Jongwon Han; Sangwoo Lim 出版日期：2023-11-01
求助人	个性怡在 2026-11-01 23:56:57 发布自北京，悬赏 10 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

科研通，让科研之路畅通无阻

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: xy完成签到，获得积分10

1秒前; 淘宝叮咚完成签到，获得积分10

2秒前; 刺猬完成签到，获得积分10

2秒前; 超速驱动压抑完成签到，获得积分10

2秒前; 吕小布完成签到，获得积分10

3秒前; 奇点完成签到，获得积分10

3秒前; 魔幻友菱完成签到，获得积分10

3秒前; WANG同学完成签到，获得积分10

5秒前; 晚塬完成签到，获得积分10

5秒前; 麦子完成签到，获得积分10

6秒前; 学术小白完成签到，获得积分10

7秒前; 坦率起眸完成签到，获得积分10

7秒前; 欧斯奥特曼完成签到，获得积分10

7秒前; 陈秀娟发布了新的文献求助10

8秒前; 兔兔完成签到，获得积分10

8秒前; 11完成签到，获得积分10

8秒前; 道交法完成签到，获得积分10

8秒前; 樱铃完成签到，获得积分10

8秒前; Firsterchao的应助被科研通管家采纳，获得10

8秒前; 坚强冰枫的应助被科研通管家采纳，获得10

9秒前; Firsterchao的应助被科研通管家采纳，获得10

9秒前; 科研通AI6.2的应助被科研通管家采纳，获得10

9秒前; 坚强冰枫的应助被科研通管家采纳，获得10

9秒前; 镀言完成签到，获得积分10

9秒前; 123上传了应助文件

9秒前; Firsterchao的应助被科研通管家采纳，获得10

9秒前; Firsterchao的应助被科研通管家采纳，获得10

9秒前; 如是r完成签到，获得积分10

9秒前; 坚强冰枫的应助被科研通管家采纳，获得10

9秒前; CC0113发布了新的文献求助10

10秒前; 苹果骑士完成签到，获得积分10

11秒前; 浪漫小窗完成签到，获得积分10

12秒前; 欢呼半山完成签到，获得积分10

13秒前; linkey完成签到，获得积分10

14秒前; HHYE完成签到，获得积分10

15秒前; hdhuang完成签到，获得积分10

15秒前; 舒仲完成签到，获得积分10

17秒前; 俏皮的数据线完成签到，获得积分10

17秒前; St雪完成签到，获得积分10

18秒前; Dain完成签到，获得积分10

18秒前