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  Fabrication and replication of high efficiency blazed gratings with grayscale electron beam lithography and UV nanoimprint lithography 用灰度电子束光刻和紫外纳米压印光刻制作和复制高效闪耀光栅
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期刊： 作者：Marie‐Aline Mattelin; A. Radosavljević; Jeroen Missinne; Dieter Cuypers; Sander Kommeren; et al 出版日期：2020-02-28 |
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