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 Tunable SiO2 to SiOxCyH films by ozone assisted chemical vapor deposition from tetraethylorthosilicate and hexamethyldisilazane mixtures 臭氧辅助正硅酸四乙酯和六甲基二硅氮烷混合物化学气相沉积可调SiO2至SiOxCyH薄膜
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(2025-6-4)
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