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  Optical characterization of inhomogeneity of polymer-like thin films arising in the initial phase of plasma-enhanced chemical vapor deposition 相关领域
化学气相沉积
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期刊：Heliyon 作者：Jan Dvořák; Jiří Vohánka; Vilma Buršı́ková; Ivan Ohlı́dal 出版日期：2024-03-01 |
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