Mechanism for the influence of surface micro-defects on step-flow growth in 4H-SiC epitaxy: A thermodynamic Monte Carlo investigation

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标题	Mechanism for the influence of surface micro-defects on step-flow growth in 4H-SiC epitaxy: A thermodynamic Monte Carlo investigation
网址	https://doi.org/10.1016/j.csite.2026.107964
DOI	10.1016/j.csite.2026.107964 doi
其它	期刊：Case Studies in Thermal Engineering 作者：Zhuorui Tang; Wensen Ai; Jiajie Fan; Yan Zhou; Zhimin He; et al 出版日期：2026
求助人	陈豪杰在 2026-06-15 15:10:08 发布自海南，悬赏 10 积分
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Society for Industrial and Applied Mathematics (SIAM)

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