Atomic layer deposition

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标题	Atomic layer deposition
网址	https://www.nature.com/articles/s43586-025-00435-6
DOI	10.1038/s43586-025-00435-6 doi
其它	作者：Erwin Kessels, Anjana Devi, Jin-Seong Park, Mikko Ritala, Angel Yanguas-Gil & Claudia Wiemer
求助人	Wu 在 2026-07-29 13:39:16 发布自安徽，悬赏 10 积分
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