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标题
Physical and Barrier Properties of Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposited α-SiC:H Films from Trimethylsilane and Tetramethylsilane
网址
http://dx.doi.org/10.1143/jjap.42.4273
DOI
10.1143/jjap.42.4273 doi
其它 期刊：Japanese Journal of Applied Physics
作者：Chiu-Chih Chiang; Mao-Chieh Chen; Chung-Chi Ko; Zhen-Cheng Wu; Syun-Ming Jang; et al
出版日期：2003-07-15
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英俊谷秋 在 2026-09-03 11:12:35 发布自江苏，悬赏 10 积分
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