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  Crystallization kinetics during layer exchange of 28Si implanted Al films for fabrication of quantum computers: A theoretical model 量子计算机用28Si注入Al薄膜层交换结晶动力学的理论模型
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结晶
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：E. Schneider; Jonathan England 出版日期：2024-05-17 |
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