| 标题 |
 Phase, grain structure, stress, and resistivity of sputter-deposited tungsten films 溅射沉积钨薄膜的物相、晶粒结构、应力和电阻率
相关领域
材料科学
电阻率和电导率
退火（玻璃）
溅射
钨
薄膜
微晶
复合材料
粒度
应力松弛
分析化学（期刊）
冶金
纳米技术
化学
电气工程
蠕动
色谱法
工程类
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Dooho Choi; Bincheng Wang; Suk Jae Chung; Xuan Li; Amith Darbal; et al 出版日期：2011-08-15 |
| 求助人 | |
| 下载 | 求助已完成，仅限求助人下载。 |
|
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
|
PDF的下载单位、IP信息已删除
风清扬
嘿嘿
CAOHOU
美好斓
Lisa
iNk
认真的沉鱼
有点抽风
叶子
小易
柯亦云
Lucas
小二郎
33
如意草丛
乐乐乐乐乐乐
SYLH
dong
畅快的寻凝
ljf
皖公网安备34019202002308
