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Leakage Control in 0.4-nm EOT Ru/SrTiO<sub><italic>x</italic></sub>/Ru Metal-Insulator-Metal Capacitors: Process Implications
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电容器 金属 电极 材料科学 分析化学（期刊） 电气工程 化学 物理化学 工程类 有机化学 电压 冶金
网址
http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/55/6842713/06820790.pdf?...
DOI
10.1109/led.2014.2322632 doi
其它 期刊：IEEE Electron Device Letters
作者：Johan Swerts; Mihaela Popovici; Ben Kaczer; Marc Aoulaiche; Augusto Redolfi; et al
出版日期：2014-05-24
求助人
白鹭 在 2025-11-06 11:39:28 发布自江苏，悬赏 10 积分
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