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标题
Design, fabrication, and characterization of integrated optical through-silicon waveguides for 3D photonic interconnections
用于三维光子互连的集成光穿硅波导的设计、制造和表征
相关领域
材料科学 光子学 波导管 光电子学 硅光子学 多模光纤 制作 反应离子刻蚀 光功率 背景（考古学） 单模光纤 光通信 激光器 光学 蚀刻（微加工） 光纤 计算机科学 纳米技术 电信 物理 病理 古生物学 生物 医学 替代医学 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1117/12.3003146
DOI
10.1117/12.3003146 doi
其它 期刊：
作者：Francesco Villasmunta; Patrick Steglich; Claus Villringer; S. Schrader; Harald Schenk; et al
出版日期：2024-03-11
求助人
Shirley Lv 在 2025-08-28 20:34:36 发布，悬赏 20 积分
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