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 Design, fabrication, and characterization of integrated optical through-silicon waveguides for 3D photonic interconnections 用于三维光子互连的集成光穿硅波导的设计、制造和表征
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期刊： 作者：Francesco Villasmunta; Patrick Steglich; Claus Villringer; S. Schrader; Harald Schenk; et al 出版日期：2024-03-11 |
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