High-quality silicon nitride CMOS photonic devices

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标题	High-quality silicon nitride CMOS photonic devices 高品质氮化硅CMOS光子器件相关领域光子学光电子学材料科学硅光子学 CMOS芯片氮化硅硅氮化物光子晶体纳米技术图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1109/lpt.2024.3396622
DOI	10.1109/lpt.2024.3396622 doi
其它	期刊：IEEE Photonics Technology Letters 作者：Rakesh Krishna; Zhongdi Peng; Amir H. Hosseinnia; Ali Adibi 出版日期：2024-05-03
求助人	zhaizhai 在 2025-05-20 15:08:29 发布自北京，悬赏 10 积分
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