Phase Engineering of Plasma‐Enhanced Atomic Layer Deposited Molybdenum Disulfide Using High Accuracy Direct Writing With Focused Li + and Ga + Ion Beams and Ultrashort Pulse Laser - 科研通

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标题	Phase Engineering of Plasma‐Enhanced Atomic Layer Deposited Molybdenum Disulfide Using High Accuracy Direct Writing With Focused Li + and Ga + Ion Beams and Ultrashort Pulse Laser
网址	https://onlinelibrary.wiley.com/doi/pdf/10.1002/smll.74834
DOI	10.1002/smll.74834 doi
其它	期刊：Small 作者：Marvin Krüner; Achim Nadzeyka; Malte Jonas Marius Julian Becher; Zhongquan Liao; Detlef Rogalla; et al 出版日期：2026-07-26
求助人	友好大凄在 2026-08-25 10:45:20 发布自广东，悬赏 10 积分
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