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标题
[高分] Transparent hybrid polymer stamp copies with sub-50-nm resolution for thermal and UV-nanoimprint lithography
网址
http://dx.doi.org/10.1116/1.3250207
DOI
10.1116/1.3250207 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures Processing, Measurement, and Phenomena
作者：Helmut Schift; Christian Spreu; Menouer Saidani; Martin Bednarzik; Jens Gobrecht; et al
出版日期：2009-11-01
求助人
lanxinyue 在 2026-08-25 22:05:50 发布自法国，悬赏 60 积分
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  • 1小时前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    22:05:54 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    22:05:50 科研通AI机器人（美国 洛杉矶）收到请求，开始寻找文献
    22:05:50 已向机器人发送请求

  • 1小时前

    lanxinyue lanxinyue Lv81 求助人 发起了本次求助

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