| 标题 |
  Hydrothermal Engineering of Ferroelectric PZT Thin Films Tailoring Electrical and Ferroelectric Properties via TiO2 and SrTiO3 Interlayers for Advanced MEMS 相关领域
材料科学
铁电性
压电
微电子机械系统
压电系数
相界
结晶度
薄膜
异质结
复合材料
机电耦合系数
光电子学
纳米技术
相（物质）
电介质
有机化学
化学
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| 其它 |
期刊：Micromachines 作者：Chunlin Li; Guo‐Hua Feng 出版日期：2025-07-29 |
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