Large ferroelectric polarization of TiN/Hf0.5Zr0.5O2/TiN capacitors due to stress-induced crystallization at low thermal budget

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标题	Large ferroelectric polarization of TiN/Hf0.5Zr0.5O2/TiN capacitors due to stress-induced crystallization at low thermal budget
网址	https://pubs.aip.org/aip/apl/article-pdf/doi/10.1063/1.49956...
DOI	10.1063/1.4995619 doi
其它	期刊：Applied Physics Letters 作者：Si Joon Kim; Dushyant Narayan; Jae-Gil Lee; Jaidah Mohan; Joy S. Lee; et al 出版日期：2017-12-12
求助人	挽手说梦话在 2026-03-21 15:17:27 发布自北京，悬赏 10 积分
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Society for Industrial and Applied Mathematics (SIAM)

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