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 Engineering oxygen precipitation for simultaneous denuded zone and bulk microdefect formation in pre-annealed heavily boron-doped Czochralski silicon substrates for p/p+ epitaxial wafers 相关领域
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期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Jinge Wang; Yilun Wang; Tong Zhao; Yuna Yin; Pengfei Gao; et al 出版日期：2025-10-06 |
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