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 Temperature study of atmospheric-pressure plasma-enhanced spatial ALD of Al2O3 using infrared and optical emission spectroscopy 相关领域
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：M. A. Mione; Vincent Vandalon; W. M. M. Kessels; F. Roozeboom 出版日期：2022-11-04 |
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