发布文献求助
亲爱的研友该休息了！由于当前在线用户较少，发布求助请尽量完整地填写文献信息，科研通机器人24小时在线，伴您度过漫漫科研夜！身体可是革命的本钱，早点休息，好梦！
已关闭
  • 文献求助详情
标题
Effect of contaminants on pellicle lifetime for EUV lithography
污染物对EUV光刻薄膜寿命的影响
相关领域
极紫外光刻 材料科学 压力（语言学） 热膨胀 平版印刷术 热的 发射率 热导率 复合材料 粒子（生态学） 变形（气象学） 光学 光电子学 物理 语言学 哲学 海洋学 气象学 地质学
网址
https://doi.org/10.1117/12.2583675
DOI
10.1117/12.2583675 doi
其它 期刊：
作者：Chung-Hyun Ban; In-Hwa Kang; Wonyoung Choi; Hye-Keun Oh
出版日期：2021-02-19
求助人
hyelachan 在 2024-11-28 11:20:11 发布自重庆，悬赏 20 积分
下载
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
提交工单
求助 / 应助时间线

  • 7个月前，求助关闭

    科研通管家 科研通管家 机器人 关闭了本次求助。

    说明 求助超时（查看超时原因）自动关闭，请核实信息是否正确，如果确实需要，您可重新发布求助。【积分已退回】

  • 7个月前

    hyelachan hyelachan Lv1 求助人 驳回了 misha991 上传的文件

    说明
    我需要的文献是Effect of contaminants on pellicle lifetime for EUV lithography，上传的文献是Deterioration ofmechanical stability due to inherent defect in EUVpellicle

  • 7个月前

    misha991 misha991 Lv6 上传了文件

    已驳回 11609-57poster.pdf (1.13 MB)
    温馨提示：本文件中的下载单位、IP等隐私信息已被删除。如有遗漏，请 提交工单 反馈。

  • 7个月前

    hyelachan hyelachan Lv1 求助人 发起了本次求助

更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
科研通AI5的应助被wise111采纳，获得10
4秒前
13秒前
wise111发布了新的文献求助10
18秒前
碧蓝皮卡丘完成签到，获得积分10
23秒前
29秒前
领导范儿的应助被努力的混子采纳，获得10
39秒前
嘟嘟完成签到 ，获得积分10
45秒前
毓雅完成签到，获得积分10
50秒前
Lucas的应助被naitangkeke采纳，获得10
58秒前
zz完成签到，获得积分10
1分钟前
个性慕青完成签到 ，获得积分10
1分钟前
1分钟前
naitangkeke发布了新的文献求助10
1分钟前
1分钟前
万能图书馆的应助被Sience采纳，获得10
1分钟前
Winfred发布了新的文献求助10
1分钟前
Lzx发布了新的文献求助10
1分钟前
1分钟前
1分钟前
Sience发布了新的文献求助10
1分钟前
顾矜的应助被Winfred采纳，获得10
1分钟前
lynn完成签到 ，获得积分10
1分钟前
1分钟前
土拨鼠完成签到 ，获得积分10
1分钟前
科研通AI5的应助被shadowj1020采纳，获得10
2分钟前
ents完成签到 ，获得积分10
2分钟前
2分钟前
洁净雪糕发布了新的文献求助10
2分钟前
2分钟前
三年半完成签到，获得积分10
2分钟前
星辰大海的应助被naitangkeke采纳，获得10
2分钟前
2分钟前
不知完成签到 ，获得积分10
2分钟前
慕青的应助被洁净雪糕采纳，获得10
2分钟前
2分钟前
2分钟前
小波完成签到 ，获得积分10
2分钟前
naitangkeke发布了新的文献求助10
2分钟前
林齐完成签到 ，获得积分10
2分钟前
2分钟前
高分求助中
【重要！！请各位用户详细阅读此贴】科研通的精品贴汇总(请勿应助) 10000
Plutonium Handbook 1000
Three plays : drama 1000
International Code of Nomenclature for algae, fungi, and plants (Madrid Code) (Regnum Vegetabile) 1000
Semantics for Latin: An Introduction 999
Robot-supported joining of reinforcement textiles with one-sided sewing heads 580
Apiaceae Himalayenses. 2 500
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 冶金 细胞生物学 免疫学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 4091429
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 3630221
关于积分的说明 11507517
捐赠科研通 3341782
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 1836873
邀请新用户注册赠送积分活动 904789
科研通“疑难数据库（出版商）”最低求助积分说明 822544
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通