Analysis of mitigating factors for line edge roughness generated during electron beam lithography using machine learning - 科研通

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标题	Analysis of mitigating factors for line edge roughness generated during electron beam lithography using machine learning
网址	https://doi.org/10.35848/1347-4065/ac0d13
DOI	10.35848/1347-4065/ac0d13 doi
其它	期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Yuqing Jin; Takahiro Kozawa; Takao Tamura 出版日期：2021-06-21
求助人	李露露在 2026-09-23 15:03:25 发布自上海，悬赏 10 积分
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Taylor & Francis

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