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Tailoring the Composition of B 4 C Layer by H 2 /Ar Sputtering for High‐Reflectance La/B 4 C‐Based Multilayers 相关领域
溅射
溅射沉积
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期刊:physica status solidi (a) 作者:Fenghua Li; Jiaoling Zhao; Xiaoran Li; Ge Zhang 出版日期:2026-08-06 |
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