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Low-temperature fabrication of sputtered high-k HfO2 gate dielectric for flexible a-IGZO thin film transistors
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网址
DOI
10.1063/1.5022088 doi
其它 期刊:Applied Physics Letters
作者:Rihui Yao; Zeke Zheng; Mei Xiong; Xiao-Chen Zhang; Xiao-Qing Li; et al
出版日期:2018-03-08
求助人
微笑的贞 在 2026-11-13 03:15:35 发布自四川,悬赏 10 积分
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