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Silatrane-Based Molecular Nanolayers as Efficient Diffusion Barriers for Cu/SiO2/Si Heterojunctions: Implications for Integrated Circuit Manufacturing
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DOI
10.1021/acsanm.3c05604 doi
其它 期刊:ACS applied nano materials
作者:Ting‐An Chen; Ting Yu; Van Truc Vu; Chun‐Jen Huang; Chih‐Ming Chen
出版日期:2024-02-19
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邪恶青年 在 2026-10-02 15:54:16 发布自广东,悬赏 10 积分
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