AlN-AlN Wafer Bonding and Its Thermal Characteristics - 科研通

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标题	AlN-AlN Wafer Bonding and Its Thermal Characteristics
网址	https://iopscience.iop.org/article/10.1149/06405.0141ecst
DOI	10.1149/06405.0141ecst doi
其它	期刊：ECS Transactions 作者：Shuyu Bao; Kwang Hong Lee; Gang Yih Chong; Eugene A Fitzgerald; Chuan Seng Tan 出版日期：2014-10-01
求助人	akun 在 2026-09-18 18:42:35 发布自江苏，悬赏 10 积分
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