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标题
Growth of (111)-oriented epitaxial and textured ferroelectric Y-doped HfO2 films for downscaled devices
网址
https://pubs.aip.org/aip/apl/article-pdf/doi/10.1063/1.49624...
DOI
10.1063/1.4962431 doi
其它 期刊：Applied Physics Letters
作者：Kiliha Katayama; Takao Shimizu; O. Sakata; T. Shiraishi; Syogo Nakamura; et al
出版日期：2016-09-12
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Jie 在 2026-07-15 10:36:28 发布自上海，悬赏 10 积分
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