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 Integration of CVD W on IMP Ti and TiN 相关领域
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期刊：1998 5th International Conference on Solid-State and Integrated Circuit Technology. Proceedings (Cat. No.98EX105) 作者：Y. Tanaka; G. Yao; J. van Gogh; D. Herner; J. Zhang; et al 出版日期：1998-10-21 |
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