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标题
Investigation of micropipe and defects in molten KOH etching of 6H n-silicon carbide (SiC) single crystal
6Hn-碳化硅单晶KOH熔融刻蚀中的微管及缺陷研究
相关领域
材料科学 碳化硅 位错 蚀刻（微加工） 阿累尼乌斯方程 活化能 碳化物 大气温度范围 单晶 复合材料 各向同性腐蚀 光电子学 结晶学 化学 图层（电子） 物理 有机化学 气象学
网址
https://doi.org/10.1016/j.matlet.2013.03.079
DOI
10.1016/j.matlet.2013.03.079 doi
其它 期刊：Materials Letters
作者：Shivani Mahajan; M. V. Rokade; Shahid Ali; K. Srinivasa Rao; N. R. Munirathnam; et al
出版日期：2013-06-01
求助人
刘机智 在 2025-12-09 21:53:17 发布自广东，悬赏 10 积分
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