Laser-doping of crystalline silicon substrates using doped silicon nanoparticles

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标题	Laser-doping of crystalline silicon substrates using doped silicon nanoparticles 用掺杂硅纳米粒子激光掺杂晶体硅衬底相关领域兴奋剂硅材料科学纳米颗粒光电子学激光器晶体硅纳米技术混合硅激光器光学物理
网址	https://doi.org/10.1016/j.tsf.2013.09.056
DOI	10.1016/j.tsf.2013.09.056 doi
其它	期刊：Thin Solid Films 作者：Martin Meseth; Kais Lamine; M. Dehnen; Sven Kayser; W. Brock; et al 出版日期：2013-09-25
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