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Novel fluidic packaging of gimbal-less MEMS mirrors for increased optical resolution and overall performance 用于提高光学分辨率和整体性能的无万向节MEMS反射镜的新型流体封装
相关领域
万向节
微电子机械系统
流体学
光学
执行机构
光束转向
扭矩
声学
材料科学
物理
计算机科学
梁(结构)
光电子学
航空航天工程
工程类
热力学
量子力学
人工智能
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(2025-6-4)