Resonance frequency analysis of a dual-frequency capacitive micromechanical ultrasonic transducer for detecting high and low pressures simultaneously with high sensitivity and linearity

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标题	Resonance frequency analysis of a dual-frequency capacitive micromechanical ultrasonic transducer for detecting high and low pressures simultaneously with high sensitivity and linearity
网址	http://iopscience.iop.org/article/10.1088/1361-6463/ab4e60
DOI	10.1088/1361-6463/ab4e60 doi
其它	期刊：Journal of Physics D: Applied Physics 作者：Xiaoli Zhang; Lu Yu; Qing Guo; Dachao Li; Hui Zhang; Haixia Yu 出版日期：2019-10-17
求助人	搞甚在 2026-02-06 16:48:09 发布自浙江，悬赏 10 积分
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