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  Low temperature processed CO2 laser-assisted RF-sputtered GaN thin film for wide bandgap semiconductors 用于宽带隙半导体的低温处理CO2激光辅助射频溅射GaN薄膜
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期刊：Journal of Asian Ceramic Societies 作者：Seoung-Hyoun Kim; Chang-Hyeon Jo; Min-Sung Bae; M. Ichimura; Jung‐Hyuk Koh 出版日期：2022-12-13 |
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