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标题
Erosion resistance of Y2O3 ceramics in CF4 etching plasma: Microstructural evolution and mechanical properties
Y2O3陶瓷在CF4刻蚀等离子体中的抗冲蚀性能:微观结构演变和力学性能
相关领域
材料科学 陶瓷 腐蚀 蚀刻(微加工) 等离子体 抗性(生态学) 微观结构 冶金 复合材料 矿物学 地质学 物理 生物 量子力学 古生物学 生态学 图层(电子)
网址
DOI
10.1016/j.apsusc.2024.160509 doi
其它 期刊:Applied Surface Science
作者:Desen Zhao; Liuying Huang; Cai Gong; Yuxi Yu
出版日期:2024-06-12
求助人
王富贵回来了 在 2025-01-15 20:20:30 发布自湖北,悬赏 10 积分
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